光学MEMS

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在光通信结构中,光网络是由光学元件组成的。光学元件相当部分的市场需求在于创新和降低成本。

光学元件通常被分为(i)有源器件,如激光器、探测器、调制器、收发器等;和(ii)无源元件,如滤波器、耦合器、分光器、隔离器等。最近,修改这种分类方式的方案已经被提出,市场将引入一种新的光学元件称为动态组件类。动态元件本质上是无源的、但是通过物理参数的改变或者实时光学路径的重构来实现附加功能。这类组件包括:可变光衰减器(VOA)、可调谐滤波器、1×N开关、波长选择开关(WSS)、动态色散补偿等,这些动态组件的首选解决方案是光学MEMS(微电子机械系统)。

 

动态组件的首选技术是光学MEMS(微机电系统)。MEMS的核心概念是利用长期以来用于开发集成电路的半导体晶片处理技术来制作微机械装置。集成电路(IC)是将传统的电路刻蚀到硅晶片上,而微机电系统的思路进一步的将微型机械结构也整合到硅晶片,实现微米或纳米级的机电一体化,推动现代技术不断挑战极限。

opticalmems2工程师们已经在广泛的实用领域:从消费类电子产品、汽车应用,到生物学和医学,发现了微机电系统设备的惊人应用。当利用微机电技术来建立装置以控制光的一些物理参数时,这一领域被称为光学微机电系统。光学MEMS器件的一个很好的例子是微镜,它可以实现一个或两个轴旋转角度的精确控制。

MEMS微镜是AGM由市场驱动而开发的核心产品。微镜可以通过不同的封装方式,服务范围广泛的商业应用。通常情况下,根据不同的应用,反射镜呈在一维或二维阵列分布。光学微机电系统器件的其他例子包括:衍射微系统,可调谐滤波器等。