本产品是AGM双轴MEMS芯片装载到TO46管座上以后用带平行玻璃窗的管帽密封完成。芯片贴到管帽上以后,驱动焊盘通过金线与TO管脚连接,以便对芯片进行加压驱动。TO46是工业界标准的封装方式,可以方便的应用到光器件、激光雷达、生物医疗及其他场景。
关于本产品的详细说明请参考下面pdf链接
规格说明书: AGM TO39封装2维MEMS芯片
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