技术

AGM的产品建立在光学MEMS(微电子机械系统)核心技术之上,并且提供光学MEMS组件的核心技术支持。在服务市场的过程中,AGM产品依靠自有的MEMS关键制造技术进行制备,保证其质量和可靠性。半导体晶圆加工实现了光学MEMS技术的集成,自动化测试保障了产品的准确及时投放。

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光学MEMS

 

光学元件通常被分为(i)有源器件,如激光器、探测器、调制器、收发器等;和(ii)无源元件,如滤波器、耦合器、分光器、隔离器等。最近,修改这种分类方式的方案已经被提出,市场将引入一种新的光学元件称为动态组件类。动态元件本质上是无源的、但是通过物理参数的改变或者实时光学路径的重构来实现附加功能。这类组件包括:可变光衰减器(VOA)、可调谐滤波器、1×N开关、波长选择开关(WSS)、交叉互联光开关(OCS)、动态色散补偿等,这些动态组件的首选解决方案是光学MEMS(微电子机械系统)。

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晶片加工和自动测试

 

AGM的核心产品,包括ESVOA和二维MEMS微镜,是建立在光学MEMS技术(带有梳状电极驱动的微镜)之上的。在构建核心产品系列所依托的光学MEMS技术以外,AGM同时有一系列其他关键技术以确保AGM产品的有效和可靠,半导体晶片加工是这些技术之一。

在测试和验证领域,AGM拥有一系列相互关联的技术来保证可靠性和有效性,其中包括晶圆探针、光学机械夹具、先进光学测量仪器、电子及光学硬件、以及定制化带有先进算法的测试软件。AGM开发了光学MEMS高容量高精度的自动测试系统。

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