mems voa ESVOA MEMSチップ

このAGM製品群は数年前から生産されており、アジアや北米のお客様に定期的に大量に出荷されています。AGMのESVOA(Electrostatic Variable Optical Attenuator)MEMSチップは、お客様のVOA製品のコア機能を実現するものです。

弊社が提供するMEMSチップは、お客様によってパッケージングされ、図のようなVOA製品として機能します。右の画像は、市販のVOA製品で、TOメタル缶にAGM ESVOA MEMSチップを搭載し、左が光ファイバー、右が電気リード線となっています。

AGM ESVOA MEMSチップは、優れた光学性能、高い減衰量(45dB以上)、安定した再現性のある減衰量、低いPDLとWDL、低い温度依存性、優れた機械的衝撃や振動への耐性などの利点を備えています。この製品は、主要なお客様のフィールドユースで数年にわたり展開されており、そのため、製品として成熟したレベルに達しています。AGMは、製品が生産段階に移行した後も、パッケージングや展開の過程で発生しうる問題に対処するため、継続的なカスタマーサポートを提供しています。

低電圧MEMSチップ製品および高電圧MEMSチップ製品の仕様は、下記リンク先の仕様書(PDF形式)に記載されています。

Spec Sheet – LV and HV MEMS chips for Electrostatic Variable Optical Attenuation

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