ミニVOA/チューナブルフィルタ(TF)MEMSチップAGMのMiniVOA/TFシリーズは、光学部品の小型化・高機能化に対応するために開発された製品です。MiniVOA/TFは、1×1mmサイズで正負両方向に最大2.5°の回転角制御が可能であり、VOAやチューナブルフィルターなど幅広い光学部品に使用することができます。0.6mmミラーと優れた衝撃、振動、温度性能により、このチップはビームサイズと環境耐性に関連するほとんどの要件を満たすことができます。
Spec Sheet -AGM Doc S120822- MiniVOA – TF Chip Public Spec Sheet
