光MEMS

MEMS Scanning Mirror, MEMS Micromirror

光通信の分野では、光ネットワークは光部品で構成されています。そして、光部品は、イノベーションとコスト削減に対する市場の要求の多くを担っています。

光部品は、従来、レーザー、検出器、変調器、トランシーバーなどの能動部品と、フィルター、カプラ、スプリッター、アイソレーターなどの受動部品に分類されてきました。最近、この分類を修正し、ダイナミックコンポーネントと呼ばれる新しいクラスの光コンポーネントを導入することが提案されています。ダイナミックコンポーネントは、本来パッシブであるが、光の物理パラメータを変更したり、光路をリアルタイムで再構成したりする機能が追加されているものである。このコンポーネントには、可変光減衰器(VOA)、チューナブルフィルタ、1×Nスイッチ、波長選択スイッチ(WSS)、光クロスコネクトスイッチ(OCS)、MEMSスキャニングミラー、動的分散補償などが含まれます。

ダイナミックコンポーネントを実現するための技術として、光MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)が推奨されています。MEMSのコンセプトは、集積回路で培った半導体ウエハープロセシング技術を使って、マイクロメカニカルデバイスを作ることである。IC(集積回路)が従来の電気回路をシリコンウェハー上に形成するのに対して、MEMSはマイクロメカニカルデバイスをシリコンそのものに組み込むという、一歩進んだ発想である。マイクロスケールやナノスケールで電気的・機械的部品を統合することで、幅広い新機能を実現し、現代の技術に可能性を与えているのである。

MOEMS マイクロミラーエンジニアは、家電、自動車、生物・医療など幅広い分野で、MEMSデバイスの驚くべき用途を発見してきました。MEMS技術が、光の物理的パラメータを制御する光学デバイスの構築に用いられる場合、この分野は光学MEMSまたはMOEMS(Micro Opto Electro Mechanical Systems)と呼ばれる。光学MEMSデバイスの代表例として、1軸または2軸の回転角度を精密に制御できるマイクロミラーがあります。

MEMSマイクロミラーは、AGMのコア技術の一つであり、市場をリードする製品開発を目指している。マイクロミラーは、さまざまな形状で展開され、幅広い用途に利用されています。マイクロミラーは、用途に応じて1次元または2次元のアレイ状に配置されるのが一般的です。光学MEMSデバイスの他の例としては、回折型MEMS、チューナブルフィルター、MEMSスキャニングミラーなどがあります。